直線光柵尺技術(shù)特性測(cè)量長(zhǎng)度50…1000mm（每50mm一檔），1100…3000mm（每100mm一檔）分辨率0.1,0.2,0.5,1,5μm準(zhǔn)確度±3μm，±5μm，±10μm,±15μm,±3...
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